研究開発

He回収精製装置

 

リークテスターで使用したヘリウムを効率よく回収、再利用するHe回収装置と、回収したガスからHeを分離し、さらなるHeの有効利用を図るHe精製装置を開発しています。

スペック

圧力 0.1~120MPa.G
回収時間 2~20秒
He運用濃度 5~95%
He回収効率 90~99%