He回収精製装置
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リークテスターで使用したヘリウムを効率よく回収、再利用するHe回収装置と、回収したガスからHeを分離し、さらなるHeの有効利用を図るHe精製装置を開発しています。
スペック
圧力 | 0.1~120MPa.G |
回収時間 | 2~20秒 |
He運用濃度 | 5~95% |
He回収効率 | 90~99% |
リークテスターで使用したヘリウムを効率よく回収、再利用するHe回収装置と、回収したガスからHeを分離し、さらなるHeの有効利用を図るHe精製装置を開発しています。
圧力 | 0.1~120MPa.G |
回収時間 | 2~20秒 |
He運用濃度 | 5~95% |
He回収効率 | 90~99% |