He回収精製装置
リークテスターで使用したヘリウムを効率よく回収、再利用するHe回収装置と、回収したガスからHeを分離し、さらなるHeの有効利用を図るHe精製装置を開発しています。
スペック
| 圧力 | 0.1～120MPa.G |
| 回収時間 | 2～20秒 |
| He運用濃度 | 5～95% |
| He回収効率 | 90～99% |
リークテスターで使用したヘリウムを効率よく回収、再利用するHe回収装置と、回収したガスからHeを分離し、さらなるHeの有効利用を図るHe精製装置を開発しています。
| 圧力 | 0.1～120MPa.G |
| 回収時間 | 2～20秒 |
| He運用濃度 | 5～95% |
| He回収効率 | 90～99% |